型号 Model No VF-336
外形尺寸 Dimension L2530xW2002xH2508 mm
有效工作尺寸 Available working size L680xW300xH300 mm
设备安装功率 Installtion power 70KW
最高工使用温度 Working temperature 极限 1550°C
极限真空度 Ultimate pressure ≤7x10-1Pa
泄漏率 Leakage rate ≤1.33x10-4 Pa.m3/s
控温精度 Temperature control accur 1°C
温度均匀度 Temperature uniformity ≤ 8°C
气氛 Atmosphere Vacuum, nitrogen, argon 真空、氮气、氩气
发热体 Heater Graphite 石墨
